认证信息
金牌会员 第 6 年
名 称：湖南顶立科技有限公司认 证：工商信息已核实
访问量：574253
手机网站
扫一扫，手机访问更轻松
产品分类
公众号
友情链接
产品简介
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）技术特征
采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；
可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低；
使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）产品规格
| 参数\型号 | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作区尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）配置选择
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类
- 真空脱脂烧结一体炉
- 顶立科技 铝基合金粉末 AlSi12 球形
- 顶立科技 钴基合金粉末 GH5605 球形
- 顶立科技 模具钢合金粉末 GP1 球形
- 顶立科技 不锈钢合金粉末 S301 球形
- 球形不锈钢合金粉末 3D打印金属粉末
- 顶立科技 模具钢合金粉末 1.2709 球形
- 顶立科技 不锈钢合金粉末 316L 球形
- 顶立科技 铝合金粉末 AISi7Mg 球形
- 顶立科技 铝合金粉末 7A04 球形
- 顶立科技 不锈钢合金粉末 S220 球形
- 顶立科技 不锈钢合金粉末 304 球形
- 顶立科技 铝合金粉末 7A12 球形
- 顶立科技 铝合金粉末 2A14 球形
- 顶立科技 钴基合金粉末 GH5941 球形
- 球形铝合金系列粉末 3D打印金属粉末